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Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme (MESYS) an der BTU Cottbus-Senftenberg

Neues Fenster: Bild - MESYS - vergrößern BTU Lehrgebaeude -Außenansicht MESYS ©BTU

Anschrift:

BTU Cottbus-Senftenberg
Außenstelle des Fraunhofer IPMS, PG MESYS
Fak. 1, Mikro- und Nanosysteme
Postfach 10 13 44
03046 Cottbus

Leitung der Fraunhofer-Projektgruppe MESYS
Prof. Dr. Harald Schenk
Telefon (0355) 69 24 41 / (0351) 88 23 154
Fax (0355) 69 3978 / (0351) 88 28 266
www.ipms.fraunhofer.de

info@ipms.fraunhofer.de

Die Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme (MESYS) gehört zum Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS in Dresden, Sachsen.

Die mit finanziellen Mitteln des Landes Brandenburg initiierte Projektgruppe MESYS entwickelt an der BTU Cottbus-Senftenberg eine neue Klasse elektrostatischer Biegeaktoren (NED) und erprobt diese an MEMS-basierten Mikrosystemen in verschiedensten Anwendungsfeldern. 

Kaum eine wachstumsstarke technische Branche kommt ohne mikrosystemtechnische Komponenten in Form von Sensoren oder Aktoren aus. Um die steigenden Anforderungen an die Leistungsfähigkeit mikromechanischer Komponenten zu erfüllen und die technische Basis für neue Anwendungen zu verbreitern, ist die weitere Miniaturisierung wesentlich. Die Miniaturisierung als Teil einer technischen Evolution bedeutet auch, dass neue aktorische Prinzipien für mikro- und nanomechanischen Systeme notwendig werden. Die Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme (MESYS), die in enger Zusammenarbeit zwischen dem Fraunhofer IPMS und der BTU Cottbus-Senftenberg 2012 ins Leben gerufen wurde, entwickelt hierfür eine neue Klasse elektrostatischer Biegeaktoren (NED) und erprobt diese an MEMS-basierten Mikrosystemen in verschiedensten Anwendungsfeldern.

Neben der Entwicklung einer neuartigen, leistungsstarken Aktorklasse für die Mikro- und Nanosystemtechnik stellt die Integration ausgesuchter Aktoren zur Realisation innovativer Bauelemente, Systeme und Applikationen ein weiteres Ziel dar. Dazu zählen beispielsweise Mikro-/Nanomanipulatoren, Mikropumpen und -ventile, Mikrolautsprecher und optische Schalter. Die potentielle Anwendungsbreite erstreckt sich dabei von der Optik, der Mess- und Medizintechnik und der Biotechnologie bis hin zur Kommunikationstechnik.

Die Projektgruppe MESYS fokussiert sich inhaltlich auf die Entwicklung CMOS-kompatibler Herstellungsprozesse, die Simulation und die Charakterisierung der neuartigen mesoskopischen Aktoren. Die Untersuchung der mesoskopischen Effekte ist zentraler Gegenstand der Forschungsarbeiten.

Kontakt - Referat 22

Referat 22
Außeruniversitäre Forschung

Referatsleiterin:
Dr. Claudia Herok
Telefon: 0331 / 866 4780
claudia.herok@mwfk.brandenburg.de